< border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="100%" style="padding: 0px; margin: 0px; border-collapse: collapse; border-spacing: 0px;">

Spray Type BM Data Sheet

PR-6010K

 

产品性能

• 具喷涂特性之黑色边框光阻，喷涂时具有良好之喷涂特性与表面平整性
• 可利用曝光显影技术制备优异之线路解析度(30um）图形
• 成膜后能展现优异之物性与耐环境特性
• 此产品适合广泛应用于曲面基材

制程参数

 

< border="1" bordercolor="#000000" cellpadding="3" cellspacing="2" width="100%" style="padding: 0px; margin: 0px; border-collapse: collapse; border-spacing: 0px;"> Step Process（工艺） conditions（参数） 1 Spary coating 喷涂 F.T=4~6μm on glass 2 Soft bake 软烤100 ℃ @1mm(Hot plate) or 90℃ @10min(Oven) 3 Exposure 曝光 250~300mj/c㎡(@365nm) 4 Develop 显影1) 1.0% Na2CO3(aq.) @ 60~90sec  2)DIW 20~30sec  5 Hard Bake 硬烤 150℃ @60min

 

曲面玻璃制作

 

  

 

水煮测试

• 测试条件：沸水煮一小时后进行而格测试
• 结果：5B

                   

耐酒精擦拭

• 测试条件：无尘布沾酒精，以手指擦拭。
• 结果：同一区块，经150次擦拭无擦起痕迹。

                       

硬度测试

• 测试条件：以500g荷重进行硬度测试。
• 结果：4H无刮起

                    

OD值

测试结果：OD值约1/μm

           

解析度分析：光学显影镜（OM)

                  

解析度分析：镭射共聚焦

           

           L/S=50um/50um       L/S=40um/40um      L/S=30um/30um

解析度分析：电子显微镜（SEM)

     

解析度分析：电子显微镜（SEM)